3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀非接觸表面微觀(guān)形貌(粗糙度)測量?jì)x，系統采用TRIMOS技術(shù)數字全息三維顯微測量技術(shù)(DHM)，廣泛應用于高精密微觀(guān)表面檢查。與傳統非接觸測量技術(shù)相比，測量速度快，對震動(dòng)不敏感，真正的實(shí)現三維形貌納米級測量。3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀是模塊化的設計理念，可配置共焦顯微系統, 探針測量系統，傳感器直接更換，方便快捷，極大的滿(mǎn)足了不同的應用范圍。即可用于計量單位和材料科學(xué)研發(fā)實(shí)驗室，也廣泛應用在工業(yè)制造領(lǐng)域：汽車(chē)、航天、航空、表面涂層、醫療產(chǎn)品、微型電機系統、半導體等行業(yè)。
　　3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀對各種產(chǎn)品和材料的表面平面度、粗糙度、波面性、面形輪廓、共面性、表面缺陷、研磨情況、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況等貌特征等進(jìn)行測量和分析。標準型號的系統要求被測物體尺寸通常不大于150*100mm，更大的尺寸根據要求也可供貨。工作臺至大承載重量10Kg。
　　3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀可直接測量表面的峰頂-谷底的高度，適用于噴丸噴砂行業(yè)、印刷行業(yè)、噴涂防腐行業(yè)等表面粗糙度需求的行業(yè)使用，可測量表面輪廓和凹坑，只需要很小的測量面積。光學(xué)式表面粗糙度輪廓形貌儀大掃描速度可達到80mm/秒，每秒2000個(gè)數據點(diǎn)，每行可掃描20000個(gè)獨立的數據點(diǎn)，垂直測量分辨率高可達到5nm，小測量范圍0-110μm，大測量范圍0-50mm。
　　3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀的操作較為簡(jiǎn)便，操作人員將工件放置在載物臺上，調整載物臺使被檢測區域移動(dòng)到物鏡下方，調整Z軸高度，直至軟件測量窗口出現干涉條紋，調節載物臺上水平傾斜旋鈕使視場(chǎng)內出現1~2個(gè)干涉條紋，點(diǎn)擊按鈕進(jìn)行測量，光學(xué)物鏡開(kāi)始對器件表面進(jìn)行掃描，軟件實(shí)時(shí)獲取圖像并在掃描結束后重建出3D圖像，操作者可在軟件的分析界面中對圖像進(jìn)行處理，獲取器件表面的線(xiàn)、面粗糙度、輪廓等2D、3D數據。