3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量?jì)x器。采用進(jìn)口高精度光柵測量系統、高精度研磨導軌、高性能非接觸直線(xiàn)電機、音圈電機測力系統、高性能計算機控制系統技術(shù)，實(shí)現對各種工件表面粗糙度和輪廓進(jìn)行測量和分析。通過(guò)高精度研磨導軌、高性能直線(xiàn)電機保證測量的高穩定性及直線(xiàn)度，采用進(jìn)口高精度光柵測量系統建立工件表面輪廓的二維坐標，計算機通過(guò)修正算法對光柵數據進(jìn)行修正，還原出工件輪廓信息并以曲線(xiàn)圖顯示出來(lái)，通過(guò)軟件提供的分析工具可對輪廓進(jìn)行各種參數分析。
表面輪廓粗糙度儀為全自動(dòng)測量設備，操作者只需裝好被測工件，在檢定軟件上設定掃描的開(kāi)始、結束位置，點(diǎn)擊“開(kāi)始”按鈕，測針會(huì )自動(dòng)接觸工件表面，并按設定的位置掃描；可高精度地測量精密加工零部件的粗糙度和輪廓形狀，再選擇所需評價(jià)參數即可進(jìn)行評價(jià)。
3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀能實(shí)現下列功能：
1.建立回歸直線(xiàn)和圓形；
2.建立點(diǎn)、交點(diǎn)、自由點(diǎn)、中心點(diǎn)、高點(diǎn)和低點(diǎn)；
3.建立坐標系統；
4.計算半徑、距離、角度、坐標及線(xiàn)性偏差；
5.實(shí)際值與標稱(chēng)值比較；
6.測量程序自動(dòng)運行；
7.表面粗糙度評定：Ra、Rz、Rt、RS、RSm、Rp、Rv、Rq、Rt、Rmax、D、Rmr曲線(xiàn)、Rdc等；
8.濾波：2RC濾波，高斯濾波和零相位濾波器；
9.測量記錄采用集中式數據庫管理，可按被測件類(lèi)型、生產(chǎn)單位、出廠(chǎng)編號、檢測員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢(xún)和管理測量記錄；
10.可從數據庫中選定多條記錄成批打印測量記錄；
11.可將檢定數據輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔；
12.具有數據備份和還原數據庫功能。
3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀的主要應用：
1.臺階高度：2D和3D臺階高度；
2.紋理：2D和3D粗糙度和波紋度；
3.形狀：2D和3D翹曲和形狀；
4.應力：2D和3D薄膜應力；
5.缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌；
6.大學(xué)、研究實(shí)驗室和研究所；
7.半導體和化合物半導體；
8.LED：發(fā)光二極管；
9.太陽(yáng)能；
10.MEMS：微機電系統。
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